hkmg process flow
由CQin著作·2013·被引用1次—Inthispaper,aprocesschallengeofintegratingDualStressLiner.(DSL)(1)-(2)intogate-lastHigh-k/MetalGate(HKMG)flowis.,ProcessflowofNSFETconsideringHKMGwithgate-lastprocess.(a)and(b)AfterfinformationbasedonSi/SiGestack,(c)-(e)...
Key Migration of Semiconductor CMOS Technology
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2020年11月28日—...(ProcessFlow)改變,即從原先的Gate-first製程修改成Gate-last製程(如下圖)。但HKMG的手工藝技術又有細分為兩種,Intel在2009年發表了新的製程技術。
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